X-FAB Goes 3D

NEWS, Erfurt, Germany, 9月 21, 2012.

2012921ドイツ、エルフルトこれまでに10億個を超えるMEMS デバイスを出荷したX-FABシリコンファウンダリー社は今日、3D MEMS 慣性センサープロセスを発表しました。これは大量生産が可能な専業ファウンダリーとして業界初のとなるものです。この新しい3D 慣性センサープロセスでは、ファブレスやその他のお客様がご自分のデザインやX-FAB のデザインパートナーを使って直ちにウェハを流すことが可能で、長くて費用のかかる開発が不要となります。X-FABのオープンプラットフォームを用いると、市場への投入が早くなるとともに、高品質な慣性センサーの生産が約束されます。

この新しいMEMS技術は、携帯機器・民生・ゲーム・おもちゃ・自動車・ロボット・産業や医療などの幅広い範囲で使われている3D加速度センサーや慣性センサーに適したものです。同じプロセスで1軸・2軸のものも生産可能です。また、加速度センサーとジャイロセンサーを並べたデザインも可能で、6軸の慣性センサーユニットを作ることも可能となります。

X-FAB MEMSビジネスラインマネージャーのIain Rutherfordは以下のように述べています。X-FAB のオープンプラットフォームプロセスが、MEMS産業界に新時代をもたらします。1製品1プロセスというルールから、オープンプラットフォームにシフトしていき、どのような会社でも、世界レベルの高品質プロセスを様々なアプリケーションに利用できるようになります。お客様は記録的な短期間でゴールを達成できます。」

X-FAB の新技術の特徴は、慣性用の質量とドライブ用の櫛としての堅固な単結晶シリコン、

1層メタルでも複雑な配線が可能となる独自開発の埋め込みコンタクト、小さい寄生容量、電磁環境耐性です。この3D慣性センサープロセスは、2003年からX-FABのお客様に利用されている1D/2D慣性センサー、圧力センサー、そして、赤外センサーのオープンプラットフォームプラットフォームと、直ちに利用できる2G10G100Gの加速度センサーIPを補完するものです。この3D慣性センサープロセスは、X-FABの着実な認定過程を経て開発され、特性が評価された安定で高イールドなプロセスとなっています。X-FABの全ての製造拠点は、ISO 9001ISO TS16949 の認定を受けています。

X-FAB 925日に、この慣性センサープロセスを紹介する無料のウェビナーを開催する予定です。www.xfab.com/jp/main/about-x-fab/events/eventsdetail/article/1229/25-26-sep/

 提供開始時期

直ちにこのプロセスを用いた試作ができます。2013年の初めには、全ての認定が完了し、完全なデザインルールへのアクセスも可能となります。

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X-FABについて

X-FABは、アナログ/ミックスドシグナル集積回路ミックスドシグナルIC向けのシリコンウェハを製造し、アナログ/ミックスドシグナルの分野で世界をリードするファウンダリーです。製造拠点はドイツのエルフルトおよびドレスデン、米テキサス州のラボック、マレーシアのサラワク州クチンにあり、約2400名の従業員が世界中で勤務しています。ウェハは1.0umから0.13umにわたる技術を備えた、モジュールオプション化されたCMOSBiCMOS、および MEMS の先端プロセスで製造されており、そのアプリケーションは主に自動車・通信・民生・産業の各分野に広がっています。詳しい情報はwww.xfab.comをご覧ください。