X-FAB bietet als erste Foundry 0,18 Mikrometer-Prozess für Integrierte Hall-Sensoren an

Erfurt, Germany, Juni 10, 2009.

X-FAB Silicon Foundries, die weltweit führende analog/mixed-signal Halbleiterfoundry mit Expertise in sogenannten “More than Moore”-Technologien, stellt als erste Foundry einen Fertigungsprozess zur Herstellung von integrierten Hall-Sensoren auf einer 0,18-Mikrometer-Plattform zur Verfügung. Der 0,18-Mikrometer CMOS-Prozess von X-FAB, XH018 genannt, ermöglicht die Kombination von Hall-Sensor-Elementen mit Hochvolt- und nichtflüchtigen Speicheroptionen sowie analog/mixed-signal Schaltungen für kostengünstige und energieeffiziente System-on-Chip-Anwendungen (SoC).

Hall-Effekt Sensoren haben viele Vorteile gegenüber den traditionellen mechanischen und Reed-Kontakt-Bauelementen. Die kontaktlose Arbeitsweise von Hall-Sensoren verbessert deutlich die Zuverlässigkeit und Lebensdauer durch die Eliminierung von mechanischem Verschleiß. Sie ermöglichen eine präzise Messung und Auswertung der magnetischen Feldstärke.

Mit X-FAB’s 0.18-Mikrometer Foundry-Prozess zur Herstellung von Hall-Sensoren ist es möglich, das Sensorelement mit der Kontroll- und Schnittstellenlogik auf einem Chip zu integrieren. Aufgrund der kleinen Strukturgröße, und somit einer hohen Integrationsdichte, kann eine hohe magnetische Empfindlichkeit mit sehr geringen parasitären Effekten erreicht werden. Anhand eines 50 mal 50 Mikrometer großen Sensors auf einem Testchip konnte X-FAB eine magnetische Empfindlichkeit bis zu 360 V/(A*T) mit einer hohen Linearität nachweisen.

Hall-Sensor-Technologien lösen nach und nach konventionelle Methoden zur Strommessung ab. X-FAB’s Foundry-Technologie für Hall-Sensoren ist für eine Reihe von Anwendungsgebieten geeignet, unter anderem für Magnetfeldmessungen, zur Positionsregelung oder Geschwindigkeitserfassung, für kontaktlose Schalter sowie für Positions- und Winkelsensoren. Die Systemkosten für solche Anwendungen können durch X-FAB’s integrierte Lösung deutlich gesenkt werden, aufgrund der geringeren Anzahl von Chips, einfacherer Assemblierung und verbesserter Zuverlässigkeit.

Verfügbarkeit
X-FAB’s XH018-Prozess zur Fertigung von integrierten Hall-Sensor-Lösungen ist ab sofort verfügbar. Der Prozess wird durch umfangreiche Designunterstützung ergänzt, welche unter anderem Charakterisierungsdaten und Layoutbeispiele beinhaltet.