X-FAB erweitert MEMS Plattform Drucksensor-IP Cores und SOI-MEMS sind jetzt verfügbar

Erfurt, Germany, Mai 10, 2005.

Die Erfurter X-FAB Semiconductor Foundries AG bietet erstmalig IP Cores für MEMS Drucksensor-Technologien an. Mit diesem neuartigen Konzept werden Foundry-Kunden bei der Entwicklung von Einchiplösungen unterstützt, bei denen ein piezoresistiver Drucksensor und die anwendungsspezifische Elektronik auf einem Chip integriert sind. Diskrete Sensor IP sind ebenfalls verfügbar. Der Einsatz getesteter X-FAB CMOS MEMS IP Cores führt zu einer Verringerung des Entwicklungsrisikos sowie zu kürzeren Entwicklungszeiten.

Die Drucksensor IPs sind eine Erweiterung der bestehenden X-FAB Entwurfsbibliotheken mit analogen Schaltungselementen. Der Elektronikentwickler hat dadurch die Möglichkeit ein vollständig charakterisiertes Bauelement - in diesem Fall einen piezoresistiven Drucksensor - in den Schaltungsentwurf zu integrieren. GDS2-Daten und alle für den Entwurf der Auswerteelektronik relevanten Sensorparameter werden bei Lizenzierung der Drucksensor
IP Cores bereitgestellt.

Die Technologiebasis für integrierte Drucksensoren ist X-FAB's modulare und kostengünstige mixed-signal CMOS-Technologie. Die diskreten Drucksensor IPs sind in Siliziummikromechanik (XM-BP) oder Oberflächenmikromechanik (XM-SP) verfügbar. Drucksensor IP Cores sind erhältlich für mehrere Standarddruckbereiche, als Relativ- und Absolutdrucksensor.

Zusätzlich bietet X-FAB eine SOI MEMS Oberflächenmikromechanik-Technologie an. Diese Neuentwicklung wurde maßgeschneidert für Anwendungen wie Beschleunigungs- und Drehratensensoren im Automobil- und Konsumgüterbereich. Diese neue MEMS SOI Technologie ermöglicht kleinere Chipflächen und ein
verbessertes Signal-Rausch-Verhältnis. Oxidgräben zur Isolation sorgen für minimale parasitäre Kapazitäten und ermöglichen das Kreuzen von Metallbahnen.

Entwurfsregeln und Prozess-Spezifikation sind ab sofort verfügbar. Zum kostengünstigen Prototyping bietet X FAB Multilevel-Maskensätze an.

Durch diese Erweiterung festigt X-FAB seine Rolle als führende MEMS Foundry.