Deutschland (Itzehoe)

X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH

Fraunhoferstrasse 1
25524 Itzehoe
Deutschland

Tel.: +49 4821 17 4228
Fax: +49 4821 17 4291

Prozesse / Technische Fähigkeiten:

  • Sensoren: Beschleunigungs-, Drehraten- und Mengendurchflusssensoren
  • MOEMS: Mikrospiegelscanner, mikro-optische Anwendungen
  • RF-MEMS: RF-Schalter für verschiedene Kapazitäten
  • Entwicklung neuartiger Technologien: z.B. piezoelektrische MEMS-Aktuatoren
  • Wafer level packaging: AuSi, AuSn, glass frit, anodic, Getter integration, TSV

Gesamtkapazität:

  • > 13,000 8" äquivalente Wafer-Einsteuerungen pro Monat

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