X-FAB erweitert die MEMS-Technologien um Inertialsensoren

Mit einer Technologie für Inertialsensoren (Trägheitssensoren) steht den Kunden der X-FAB Gruppe ab sofort eine neue Prozessgeneration auf dem Gebiet der mikroelektromechanischen Sensoren (MEMS) zur Verfügung. Die Erfurter mixed-signal Foundry X-FAB ist damit kompetenter Partner bei der Entwicklung und Serienfertigung von MEMS-Sensortechnologien.

Der auf SOI-Wafern basierende Surface-Micromachining-Prozess zeichnet sich durch hohe Präzision und Homogenität aus und liefert beste Voraussetzungen für eine hochvolumige Serienfertigung. Anwendungsbereiche der XM30-Technologie sind vor allem die Automobil- und Industrieelektronik, zum Beispiel Beschleunigungssensoren für Airbags oder Drehratensensoren für Navigationssysteme. Weitere Einsatzgebiete wie die Medizin- oder Konsumgütertechnik sind möglich.

Besonderheit der Technologie sind sogenannte kapazitive Sensorelemente, d.h. frei bewegliche, dreidimensionale Strukturen, die auf äussere, durch Beschleunigungs- und Drehbewegungen hervorgerufene Kräfte reagieren. Diese Strukturen werden durch anisotrope und isotrope Plasma-Silizium-Ätzprozesse erzeugt.

"X-FAB baut das Spektrum der Foundry-Prozesse erfolgreich in Richtung MEMS aus und macht mit der Einführung der neuen Surface-Micromachining-Technologie eine weitere Generation von Prozessen für mikromechanische Bauelemente verfügbar" sagte Thomas Hartung, Vizepräsident Marketing & Sales der X-FAB Gruppe. "Die ausgezeichneten und stabilen Eigenschaften der Technologie ermöglichen nicht nur hohe Stückzahlen. Die neue Technologie ist ausserdem die konsequente Weiterentwicklung der bereits angebotenen Bulk-Micromachining-Technologie."

Design Rules und Prozess-Spezifikationen sind ab sofort verfügbar, ab dem zweiten Quartal 2003 bietet X-FAB regelmässig den Multi-Product-Wafer-Service (MPW) an.

Über X-FAB
X-FAB, mit Hauptsitz in Erfurt, ist eine europäische, unabhängige Mixed-Signal Foundry. Das Unternehmen verfügt - zusammen mit X-FAB UK (Plymouth, UK) und der Schwestergesellschaft X-FAB Texas Inc. (Lubbock, Texas) - über drei Fertigungsstätten mit einer Gesamtkapazität von ca. 8.000 8" äquivalenten Wafer Starts pro Woche und beschäftigt ca. 900 Mitarbeiter weltweit.
Weitere Informationen unter www.xfab.com.