X-FAB erweitert das MEMS-Foundry-Angebot
Erfurt, Germany, Juni 18, 2003.Surface-Micromachining-Technologie für Absolutdrucksensoren verfügbar
Erfurt (Deutschland), 18. Juni 2003:
Die Erfurter X-FAB Semiconductor Foundries AG hat ihr MEMS-Angebot um eine Surface-Micromachining-Technologie für Absolutdrucksensoren erweitert. Die Technologie erlaubt die problemlose Integration von Absolutdrucksensoren mit X-FAB's CMOS-Technologien. Die Sensoren können aber auch als diskrete Bauelemente eingesetzt werden.
Technologische Grundlage ist ein Surface-Micromachining-Prozess. Auf die Oberfläche einer Siliziummembran werden piezo-resistive, d.h. druckempfindliche Sensorelemente aufgebracht. In einem unterhalb der Membran befindlichen Hohlraum ist Vakuum eingeschlossen, das schließlich die Absolutdruckmessung ermöglicht.
Durch die hohe Präzision und Homogenität des Fertigungsprozesses ist die Technologie insbesondere für Anwendungen mit hoher Stückzahl geeignet. Zum Einsatz kommt der Sensor vor allem in der Automobil-, Industrie- und Medizintechnik. Design Rules und Prozess-Spezifikationen sind ab sofort verfügbar.
Die neue Technologie ist ein weiterer Meilenstein, MEMS-Prozesse im Rahmen unseres Foundry-Angebotes verfügbar zu machen. Mit der gewohnten Flexibilität können sowohl
hochvolumige als auch kleinere Stückzahlen realisiert werden, sagte Thomas Hartung, Vizepräsident Marketing und Sales der X-FAB Gruppe. Für den Bereich der Sensor-Interface-ICs ist insbesondere die problemlose Integration mit unseren CMOS-Technologien von Vorteil.
