X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH
Fraunhoferstrasse 1
25524 Itzehoe
Deutschland

Tel: +49 4821 17 4221
Fax: +49 4821 17 4250

Prozesse / Technische Fähigkeiten:

• Sensoren: Beschleunigungs-, Drehraten- und Mengendurchflusssensoren
• MOEMS: Mikrospiegelscanner, mikro-optische Anwendungen
• RF-MEMS: RF-Schalter für verschiedene Kapazitäten
• Entwicklung neuartiger Technologien: z.B. piezoelektrische MEMS-Aktuatoren
• Wafer level packaging: AuSi, AuSn, glass frit, anodic, Getter integration, TSV

Gesamtkapazität:

• > 13,000 8" äquivalente Wafer-Einsteuerungen pro Monat
  
  

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